Veeco外延設(shè)備濾芯的核心功能與應(yīng)用場景：

　　1.液壓系統(tǒng)過濾

　　作用：在外延設(shè)備的液壓系統(tǒng)中，濾芯用于過濾液壓油中的顆粒污染物（如金屬屑、氧化物、橡膠碎渣等），防止雜質(zhì)進入高壓泵、控制閥等關(guān)鍵部件，避免磨損、卡滯或泄漏。

　　典型場景：

　　晶圓承載臺的升降、旋轉(zhuǎn)等運動依賴液壓驅(qū)動，濾芯保障液壓油清潔，確保運動平穩(wěn)性和定位精度。

　　高溫外延工藝中，液壓系統(tǒng)可能因熱膨脹產(chǎn)生微小顆粒，濾芯可攔截這些污染物，防止系統(tǒng)失效。

　　2.潤滑系統(tǒng)過濾

　　作用：在設(shè)備的傳動部件（如軸承、齒輪、導(dǎo)軌）中，濾芯通過過濾潤滑油中的雜質(zhì)，減少摩擦面的磨損，延長機械部件壽命。

　　典型場景：

　　外延生長室的旋轉(zhuǎn)基座、氣體分配盤等部件需要持續(xù)潤滑，濾芯防止油污中的顆粒劃傷精密表面。

　　高速旋轉(zhuǎn)設(shè)備（如MOCVD反應(yīng)腔的氣體渦輪）依賴清潔潤滑油，濾芯可避免渦輪葉片因污染導(dǎo)致振動或失效。

　　Veeco外延設(shè)備濾芯在外延設(shè)備中的特殊重要性：

　　1.保障工藝穩(wěn)定性

　　外延生長對設(shè)備機械穩(wěn)定性要求高（如原子層沉積需納米級平整度），液壓/潤滑系統(tǒng)的微小污染可能導(dǎo)致基片抖動或溫度波動，濾芯通過維持油液潔凈，間接提升薄膜均勻性。

　　2.防止交叉污染

　　在MOCVD（金屬有機化學(xué)氣相沉積）或CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備中，液壓油泄漏可能帶入反應(yīng)腔，濾芯可減少油污對晶圓的污染風(fēng)險。

　　3.延長設(shè)備壽命

　　液壓泵、伺服閥等關(guān)鍵部件成本高昂，濾芯通過過濾顆粒物，可顯著降低因磨損導(dǎo)致的維修頻率，尤其對24小時連續(xù)運行的量產(chǎn)設(shè)備至關(guān)重要。